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更新時間:2026-06-12
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核心定位:處理高粉塵、強酸 / 鹵素、大量固態副產物的重載真空制程。
典型場景:半導體 CVD/ALD/ 蝕刻 / 擴散、光伏、LED、化工反應釜。
設計關鍵:泵體主動控溫(高溫運行),防止副產物(如 NH?Cl)冷凝結塊,抗堵、長壽命。
抽氣速度:2,500 L/min(50/60Hz 不變)
極限真空:0.4 Pa
額定功率:3.0 kW
重量:約 180 kg
冷卻方式:全水冷,流量 5–8 L/min(進水≤30℃)
進氣法蘭:NW40
材質:標準鎳合金 / 鎳涂層,強防腐
認證:SEMI?S2、CE、NRTL(半導體安全級)
EV?S:風冷羅茨 → 潔凈、輕載、低腐蝕
EV?X:中小型螺桿 → 通用、中腐蝕
EV?M:水冷羅茨 → 富氫、重載
EST:水冷螺桿 + 高溫恒溫 + 強防腐 → EST25N 屬于此系列,重制程
? 高溫防堵:泵內恒溫,副產物不冷凝、不沉積
? 強耐腐蝕:鎳基合金 + 涂層,耐受 Cl?、HCl、HF 等
? 大抽速 + 高真空:2500 L/min、0.4 Pa,適合大腔體 / 快速抽氣
? 電源通用:50/60Hz 抽速不變,全球適用
? 智能控制:LCD 面板、預警 / 報警存儲、可編程
一句話:EST25N = 荏原 2.5m3/min 級、半導體 CVD 用高溫防腐干式真空泵。
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項目負責人:林經理